| 社内呼称 | 1号分離装置 | 2号分離装置 | 3号分離装置 | |
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| 装置の名称 | MMG-7600型 平成5年4月 |
MG-3200型 昭和61年4月 |
MG-3200型 平成9年4月 |
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| 公称能力 | 液化酸素・窒素 | 4,370Nm3/h （酸素最大生産量800Nm3/h） |
100Nm3/h （窒素のみ） |
100Nm3/h （窒素のみ） |
| 液化アルゴン | 48Nm3/h | - | - | |
| ガス窒素 | 600Nm3/h | 1000Nm3/h ※ | 1000Nm3/h ※ | |
※ 2号、3号分離機は、液化窒素を採取しない時のガス生産能力は1,280Nm3/hです。